Градиентная эпитаксия для получения микро- и наноструктур твердых растворов А^IIIВ^V через тонкую газовую зону

Содержание книги "Градиентная эпитаксия для получения микро- и наноструктур твердых растворов А^IIIВ^V через тонкую газовую зону "

Введение
Глава 1. Основные свойства гетероструктур твердых растворов на основе соединений А^IIIВ^V
1.1. Основные параметры двух- и трехкомпонентных гетероструктур соединений А^IIIВ^V
1.2. Основные параметры четырехкомпонентных гетероструктур соединений А^IIIВ^V
Глава 2. Основы градиентной эпитаксии многокомпонентных твердых растворов А^IIIВ^V в газовой фазе
2.1. Особенности термодинамического анализа при массопереносе в газовой фазе твердых растворов А^IIIВ^V в поле температурного градиента
2.2. Моделирование процесса градиентной эпитаксии через тонкую газовую зону применительно к соединениям А^IIIВ^V
Глава 3. Технические аспекты получения многокомпонентных соединений А^IIIВ^V методом градиентной эпитаксии через тонкую газовую зону
3.1. Технологическая оснастка и оборудование градиентной газофазной эпитаксией
3.2. Система управления технологическим процессом градиентной газофазной эпитаксией
3.3. Особенности программного обеспечения системы управления процессом градиентной эпитаксией
Глава 4. Особенности получения многокомпонентных твердых растворов соединений А^IIIВ^V с микро- и наноструктурой градиентной эпитаксией через тонкую газовую зону
4.1. Градиентная эпитаксия микроструктур через тонкую газовую зону применительно к соединениям А^IIIВ^V
4.2. Получение наноструктур многокомпонентных твердых растворов соединений А^IIIВ^V градиентной эпитаксией через тонкую газовую зону
Заключение
Литература
Перечень обозначений