Микроэлектромеханические системы и элементы

Содержание книги "Микроэлектромеханические системы и элементы "

К читателю
Преимущество технологии МЭМС
1. Гироскопы и акселерометры
1.1. Описание и принцип действия гироскопа
1.1.1. Самый простой гироскоп
1.1.2. Виды гироскопов и практическое применение
1.2. МЭМС-гироскопы
1.2.1. Одноосевой МЭМС-датчик угловой скорости (гироскоп) с вибрирующим кремниевым кольцом
1.2.2. Емкостной трехосевой МЭМС-акселерометр с цифровым выходом
1.3. Технологии 3D-МЭМС
1.3.1. Преимущества технологии «3D-МЭМС»
1.3.2. Принцип действия емкостного акселерометра
1.4. Производители МЭМС-акселерометров
1.5. Перспективные разработки в области МЭМС
1.5.1. Электронный демпфер осадок
1.5.2. Простой прототип электронного демпфера осадок
2. Магниточувствительные элементы и тензорезисторы
2.1. Возможности магниточувствительных элементов
2.2. Преобразователь магнитного поля
2.2. Магниторезисторы
2.2.1. «Монолитные» магниторезисторы
2.3. Датчик Виганда
2.4. Магниточувствительные и магнитоуправляемые интегральные схемы
2.4.1. Магниточувствительные интегральные схемы
2.4.2. Магниточувствительные микросхемы
2.4.3. Магнитоуправляемые интегральные схемы
2.5. Перспективы и тенденции развития магниточувствительных и магнитоуправляемых микросхем
2.6. Магниточувствительные датчики перемещения
2.6.1. Магнитные датчики линейного перемещения
2.6.2. Координаточувствительные магнитные датчики
2.6.3. Устройства для определения вектора магнитного поля с применением феррозондов
2.6.4. Ориентационный МЭМС-датчик угла наклона
2.7. Тензорезисторы
2.7.1. Тензорезисторы как современное решение для разработчиков-метрологов
2.7.2. Преимущества тензорезисторов
2.7.3. Примеры практических электронных модулей для работы с тензорезисторами
2.7.4. Характеристики и особенности тензорезисторов
2.7.5. Практика применения
2.8. Полупроводниковые терморезисторы на основе синтетического монокристалла алмаза
3. Магнитоэлектронные датчики
3.1. Магнитострикционные датчики
3.1.1. Устройство и принцип работы магнитострикционных датчиков
3.1.2. Магнитострикционные датчики разных производителей
3.1.3. Магнитострикционные датчики линейного перемещения
3.2. Энкодеры
3.3. Ультразвуковые датчики
3.4. Оптические датчики и световые завесы
3.4.1. Световая завеса
3.4.2. Оптические датчики: исполнение корпуса LT3 и LG5/LG10
3.4.3. Оптические датчики MINI-ARRAY TM – измерительные световые завесы
3.5. Практические конструкции магнитоэлектронных датчиков
3.6. Миниатюрный датчик наклона и сотрясения
3.7. Датчик детонации на основе петли Виганда
4. Устройства считывания информации и взаимосвязи с датчиками
4.1. Системы обработки данных
4.2. Интерфейсная техника
4.3. Устойчивость микромагнитоэлектронных систем к электромагнитному импульсу
Литература